تغییر فرکانس رزوناتور میکرو الکترو مکانیکی دو سر ثابت بر اثر شارش گرما از زیر لایه

در رزناتورهای میکروالکترومکانیکی احتمال تغییرفرکانس رزنانس باتغییر شرایط محیطی مشکلات بسیاری را در سیستمهای گیرنده وفرستنده ایجاد می کند . در مقاله حاضریک قطعه رزناتور ممز MEMS)مورد بررسی و مطالعه قرارگرفته است دراین کار تغییرات فرکانس درنتیجه شارش گرما به پایه های رزوناتور به علت اختلاف دما با مدارهای الکترونیکی مجاور که باعث ایجاد تنش دررزوناتور محاسبه می شود محاسبه شده است جهت پایدار بودن عملکرد رزوناتور درگستره وسیعی ازتغییرات دمایی مطلوب است که ضریب دمایی فرکانس صفر باشد ضریب دمایی بدست آمده برای رزوناتور جبران سازی نشده به کمک شبیه سازی -158 ppm °c محاسبه گردید که بیانگر قابلیت کاربرد آن به عنوان سنسوردمامی باشد عدد بدست آمده باتوجه به وابسته بودن ضریب دمایی فرکانس به ساختار مورد استفاده برای قطعه مشخصات مواد بکاررفته و تغییرات تنش با تغییرات دما محاسبه شده است.

کلیدواژه ها:

رزوناتورمیکروالکترومکانیکی ، رزونانس ، تغییرات دما ، ممزMEMS