بررسی سطح مواد توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) ، نحوه عملکرد، مزایا و چالش های آن

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) امکان تصویربرداری از سطح نمونه را فراهم می کند. تکنیکی برای بررسی توپوگرافی سطح و مورفولوژی مواد در مقیاس نانو است . تصاویر با وضوح و بزرگنمایی بالاتر از میکروسکوپ نوری ارائه می کنند. زمانیکه پرتو الکترونی به سطح نمونه تابیده میشود، باعث بر همکنش بین سطح و الکترون ها و ساطع شدن بیم های الکترونی متفاوت از سطح نمونه در اثر برخورد الکترونهای منبع الکترونی مانند الکترون های ثانویه (SE) و الکترون های پراکنده برگشتی (BSE) می شود. الکترونها توسط آشکارسازها تبدیل به تصویر می شوند. اجزای میکروسکوپ الکترونی روبشی ، انواع SEM، انواع الکترونهای ساطع شده از نمونه ، نحوه شکل گیری تصویر در این گزارش مورد بررسی قرار گرفته شده است .

کلیدواژه ها:

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) ، توپوگرافی ، الکترون های ثانویه (SE) ، الکترون های پراکنده برگشتی .(BSE)