ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

بررسی اثر پارامترهای فرایندی در فرایند تمیزکاری سطح فلز مس با استفاده از لیزر

سال انتشار: 1390
کد COI مقاله: ICME12_320
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 701
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 6 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله بررسی اثر پارامترهای فرایندی در فرایند تمیزکاری سطح فلز مس با استفاده از لیزر

عبدالحسین جلالی - استادیار دانشکده مهندسی وفناوریهای نوین، دانشگاه صنایع و معادن ایران
سید علیرضا رضوی - دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشکده مهندسی وفناوریهای نوین، دانشگاه صنایع و معادن ایران

چکیده مقاله:

تجهیزات نیمههادی و میکروالکتریکها نقش مهمی درصنعت امروز دارند. فلز مس نقش مهمی در ساختار این تجهیزات دارد. در این مقاله عملیات تمیزکاری با لیزر روی نمونه های مسی، که توسط لایه های اکسید با ضخامتهای مختلف پوشیده شدهاند، انجام شده است. به منظور حداقل نمودن خسارات ناشی از تابش پرتو لیزر روی سطح مس و بالا بردن راندمان تمیزکاری، مقدار بهینه ی پارامترهای لیزر برای تمیزکاری از قبیل طول موج، تعداد پالس، دانسیته ی انرژی و زاویه ی تابش لیزر در عملیات تمیزکاری تعیین شده اند. آزمایشها توسط لیزر Nd:YAG در طول موجهای 1064 و 532 و 355 و 266 KrF:Excimer در طول موج 248 نانومتر انجام شدهاند. بهترین نتایج تمیزکاری هنگام استفاده از لیزر Nd:YAG در طول موج 532 نانومتر با دانسیته ی 0/65J/cm2 ، تعداد پالس 31 ، زاویه ی تابش 30 درجه و استفاده از عامل مرطوب کننده ی الکل بوده است.

کلیدواژه ها:

تمیزکاری با لیزر ، بهینه سازی پارامترهای لیزر ، اکسید مس ، مس

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا ICME12_320 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/212825/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
جلالی، عبدالحسین و رضوی، سید علیرضا،1390،بررسی اثر پارامترهای فرایندی در فرایند تمیزکاری سطح فلز مس با استفاده از لیزر،دوازدهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید ایران،تهران،https://civilica.com/doc/212825

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1390، جلالی، عبدالحسین؛ سید علیرضا رضوی)
برای بار دوم به بعد: (1390، جلالی؛ رضوی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • S.A. Hoenig, , _ Fine Particles on Semiconductor Surfaces: Sources, ...
  • R. DeJule, "CMP grows in sophistication, Semiconductor International", pp. 64-68, ...
  • K.G. Watkins, J.M. Lee, C. Curran, "Laser removal of copper ...
  • J.M. Lee, W.M Steen, K.G. Watkins, "Underlying mechanisms in laser ...
  • D.A. Wesner, M. Mertin, F. Lupp, E.W. Kreutz, "Cleaning of ...
  • Yonezawa, Y., Minamikawa, T., Morimoto, A. T., Shimizu, "Removal of ...
  • A. Kearns, C. Fischer, K.G. Watkins, M. Glasmacher, H. Kheyrandish, ...
  • A.C. Tam, H.K. Park, C.P. Grigoropoulos, "Laser cleaning of surface ...
  • A. Tsunemi, K. Hagiwara, N. Saito, K. Nagasaka, Y. Miyamoto, ...
  • J. Solis, F. Vega, C.N. Afonso, _ nanocrystal thin films ...
  • _ Mann, B. WolfRottke, F. Muller, "Cleaning of optical surfaces ...
  • H.R. Choi, W.S. Chung, , B.S. Shim, S.W. Kwon, S.J. ...
  • P. Meja, M. Autric, P. Alloncle, P. Pasquet, R. Oltra, ...
  • J. Solis, F. Vega , C.N. Afonso, "Kinetics of laser- ...
  • Y.F. Lu, , W.D Song, M.H. Hong, "Laser Removal of ...
  • S.TD. Allen, A.S. Miller, S.J. Lee, "Laser assisted particle removal ...
  • D.R. Halfpenny, D.M. Kane, _ quantitative analysis of single pulse ...
  • K. Coupland, P.R. Herman, B. Gu, "Laser Cleaning of Ab ...
  • A.C. Tam, W.P. Leung, W. Zapka, W. Ziemlich, "Laser Cleaning ...
  • _ Lim, , D. Kim, , "Laser-assisted chemical cleaning for ...
  • K. Hauffe, "Book: Oxidation of Metal s", Plenum Press, New ...
  • M.P. Mateo, G. Nicolas, V. PinFon, A. Ramil, A.YanFez, "Laser ...
  • T. Burmester, M. Meier, H. Haferkamp, J. Ostendorf, ...
  • *Femtosecond laser cleaning of metallic cultural heritage and Antique artworks", ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 437
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی