ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
CIVILICAWe Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

Design and Fabrication of an Out of Plane Micro-Inertial Sensor

سال انتشار: 1390
کد COI مقاله: ICME12_014
زبان مقاله: انگلیسیمشاهد این مقاله: 753
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 6 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله Design and Fabrication of an Out of Plane Micro-Inertial Sensor

A. M. Khodadadi Behtash - Department of Mechanical Engineering, Amirkabir University of Technology, Tehran, Iran
F Barazandeh - Department of Mechanical Engineering, Amirkabir University of Technology, Tehran, Iran
N Sayyaf - Department of Mechanical Engineering, Amirkabir University of Technology, Tehran, Iran

چکیده مقاله:

The function of a micro accelerometer depends on several performance parameters such as resolution, sensitivity and noise level. This paper presents design and fabrication of an optimized micro-machined out of plane capacitive accelerometer. The accelerometer consists of a proof mass and four folded beams fabricated on a 100 μm thick single crystal silicon (SCS) substrate using high aspect ratio reactive ion etching (RIE) process. The optimization process is carried out by the use of non-dominated sorting genetic algorithm (NSGA-II) by considering performance requirements and manufacturing process limitations, such as mask printing resolution and minimum feasible feature size in RIE process. The optimization process will present a Pareto optimal front by a set of optimal designs. In order to achieve a design with maximum conformity with the read out circuit requirements, a trade off should be made between solutions. So the limits for the electrical circuit can be changed without any new optimization process.

کلیدواژه ها:

MEMS sensor; Optimization; Pareto front; Performance parameter; Trade off

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/212523/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
Khodadadi Behtash, A. M. و Barazandeh, F و Sayyaf, N,1390,Design and Fabrication of an Out of Plane Micro-Inertial Sensor,دوازدهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید ایران,تهران,,,https://civilica.com/doc/212523

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1390, Khodadadi Behtash, A. M.؛ F Barazandeh و N Sayyaf)
برای بار دوم به بعد: (1390, Khodadadi Behtash؛ Barazandeh و Sayyaf)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود ممقالهقاله لینک شده اند :

  • N. Yazdi, F. Ayazi, K. Najafi, ، _ cromachined inertial ...
  • CMOS compatible A:ه [2] J. Chae, H. Kulah, K. Najafi, ...
  • _ _ _ HARPSS Acce lerometer", IEEE Sensors Journal, vol. ...
  • J.K. Coultate, CHJ. Fox, S. McWilliam, AR. ...
  • Actuators A, vol. 142, pp. 88-96, 2008. ...
  • K. Deb, A. Pratap, S. Agarwal, T. Meyarivan, "A Fast ...
  • M. Bao, H. Yang, "Squeeze film air damping in MEMS", ...
  • SD. Senturia, "Microsystem design", Kluwer Academic Publishers, New York, 2001. ...
  • A. Konak, DW. Coit, AE. Smith, "Multi-obj ective optimization using ...
  • IW. Rangelow, H. Loschner, "Reactive ion etching for microelectrical mechanical ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 20,401
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی