اندازه گیری ضخامت لایه نازک مس با استفاده از روش جریان گردابی

در این پژوهش از روش جریان گردابی برای اندازه گیری ضخامت لایه های نازک مس استفاده شد. با انجام عملیات نورد سرد و آنیل روی فویل مس ۱۰۰میکرومتر با خلوص ۳۰۹۹/۸ درصد، نمونهها یی با ضخامتهای ۱۰۰، ۸۵، ۵۰، ۳۰ و ۲۰ میکرومتر تهیه شد. اندازه گیری ضخامت لایه های میکرومتری توسط دستگاه ضخامت سنج دقیق و میکرومتر با دقت ۱ میکرومتر و میکروسکوپ نوری در بزرگنمایی ۴۰۰ برابر انجام شد. بر ای بررسی ضخامت به روش جریان گردابی از تغییرات امپدانس نسبت به ضخامت در بازه فرکانسی ۵۰ تا ۱۵۰ کیلوهرتز با استفاده از یک پراب نرمال با هسته فریتی با قطر ۲ میلی متر استفاده شد. نتایج نشان داد که با افزایش ضخامت فویل، شاخص مقاومت اهمی (Rx) پراب افزایش و در مقابل شاخص مقاومت خودالقایی ((X(L) و شاخصامپدانس (Z)کاهش می یابد. با استفاده از روش جریان گردابی، با دقت بسیار بالا م یتوان رابطه ای تجربی خطی مناسب بین ضخامت فویل و شاخص امپدانس پراب برقرار کرد. فرکانس بهینه برای این ارزیابی ۷۰kHz تعیین شد.

کلیدواژه ها:

اندازهگیری ضخامت ، مس لایه نازک ، جریان گردابی ، امپدانس