بررسی تاثیر عملیات حرارتی بر خواص ساختاری و اپتیکی پوشش نابازتابنده پهن باند SiO۲/TiO۲ ایجاد شده به روش کندوپاش پلاسما

سال انتشار: 1403
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 82

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_PSI-24-2_002

تاریخ نمایه سازی: 3 مهر 1403

چکیده مقاله:

دراین مقاله، تاثیر عملیات حرارتی بر خواص ساختاری واپتیکی پوشش­های نابازتابنده TiO۲ و SiO۲ مطالعه و بررسی شد. لایه های نازک به روش کندوپاش بر روی زیرلایه سیلیکونی لایه نشانی شده و سپس به مدت ۱ ساعت در دماهای مختلف، بازپخت صورت گرفت. با بررسی خواص اپتیکی این نمونه ها مشاهده شد که بعد از بازپخت، بازتاب از سطح در بازه طول موج ۷۵۰-۴۵۰ نانومتر از ۷/۲ به ۲۳/۰ درصد کاهش یافت. ضریب شکست نیز بعد از بازپخت نمونه ها کاهش پیدا کرد. همچنین با بررسی خواص ساختاری نمونه ها، فاز آناتاز برای قبل از انجام عملیات حرارتی و مخلوط آناتاز و روتایل و نیز افزایش شدت قله ها بعد از بازپخت نمونه ها مشاهده شد.

نویسندگان

حسین سلمان نژاد

پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران

حسن سلمان نژاد

پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران

رضا زارعی مقدم

گروه فیزیک دانشگاه اراک

محمدرضا خانی

پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران

بابک شکری

پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • S A M Said, and H M Walwil, Energy ۱۰۷ ...
  • H Jiang, L Lu and K Sun, Environ. ۴۵ (۲۰۱۱) ...
  • J Szczyrbowski, G Br¨auer, and G Teschner, Non- Cryst. Solids ...
  • F Wiesinger, et al., Energy Mater. Sol. Cells, ۱۷۹ (۲۰۱۸) ...
  • ‎ H A Macleod, “Antireflection coatings, in: Thin-film Optical Filters”, ...
  • W J Ho, et al., Materials ۱۰ (۲۰۱۷) ۷۰۰ ...
  • D Huh, et al., Energy Mater. Sol. Cells ۱۷۰ (۲۰۱۷) ...
  • M Moayedfar and M Khalaji Assadi, Adv. Mater. Sci. ۲۳, ...
  • H A Macleod, “Thin-Film Optical Flters”, CRC Press (۲۰۰۱) ...
  • S W Glunz, R Preu, and D Biro, “Crystalline Silicon ...
  • M Mazur, et al, Surf. Sci. ۳۸۰ (۲۰۱۶) ۱۶۵ ...
  • X Chen and A Selloni, Chemical reviews, ۱۱) ۲۰۱۴ ...
  • J Viˇsniakov, et al., Thin Solid Films ۶۲۸ (۲۰۱۷) ۱۹۰ ...
  • J Musil, V Satava, and P Baroch, Thin Solid Films ...
  • U Grüning, et al., Phys. Lett. ۶۸ (۱۹۹۶) ۷۴۷ ...
  • Lin, et al., Nature ۳۹۴ (۱۹۹۸) ۲۵۱ ...
  • B S Richards, Energy Mater. Sol. Cells. ۷۹ (۲۰۰۳) ۳۶۹ ...
  • N Fathy, R Kobayashi, and M Ichimura, Sci. Eng. B ...
  • Y Y Liu, et al., Alloys Compd. ۴۷۹ (۲۰۰۹) ۵۳۲ ...
  • S H Jeong, et al., Vacuum ۷۶ (۲۰۰۴) ۵۰۷ ...
  • M A Green, Photovoltaics Res. Appl. ۱۷ (۲۰۰۹) ۱۸۳ ...
  • L Yao, and J He, Mater. Sci. ۶۱ (۲۰۱۴) ۹۴ ...
  • C Battaglin, et al., Thin Solid Films ۳۵۱ (۱۹۹۹) ۱۷۶ ...
  • H K Park, et al., Mater. Chem. A ۱ (۲۰۱۳) ...
  • P Pansila, N Witit-Anun, and S Chaiyakun, Procedia Eng ۳۲ ...
  • U Helmersson, et al., Thin Solid Films ۵۱۳ (۲۰۰۶) ۱ ...
  • Du et al., Micropor. Mesopor. Mat. ۱۵ (۲۰۱۷) ۱ ...
  • T Sertel, et al., Int. ۴۵ (۲۰۱۹) ۱۱ ...
  • S B Khan, H Wu, and Z Zhang, Coatings ۸ ...
  • نمایش کامل مراجع