نانو گرافن نسل بعدی برای اتصالات داخلی در صنعت میکروالکترونیک

در این مقاله ابتدا به ساختار نانو گرافن می پردازیم و یک مقایسه مختصری با ساختار مس و نانولوله های کربنی انجام می دهیم و سپس وارد ساخت نوار های نانو گرافنی می شویم و نحوه ی ساخت آنو تفاوت با نانو گرافن های آلایش شده و آلایش نشده و عملکرد الکتریکی آن ها می پردازیم بر اساس یکمدل معادل تک ها دی نانوروبان گرافن چند لایه که با کنتاکت ها ی جان بی به هم متصل می شود، مطالعهمقایسه ای بر ر وی پارامترها ی توز یع شده و ویژگی های انتقال آنها در ا ی ن مقاله انجام شده است. مشخصشد که تعداد کانال های رسانای یک اتصال متقابل نانو گرافن چند لایه فلزی تابع خطی عرض و انرژیفرمی آن است که می تواند با یک معادله تحلیلی تو صیف شود. اندوکتانس و ظرفیت معادل آن در مدل تکهادی معادل را می توان با مجموعه ای از معادلات شکل بسته مشخص کرد. علاوه بر این ، با توجه بهپیش بینی ITRS ، عملکرد انتقال اتصالا ت نوار های نانو گرافنی چند لایه با کنتاکت ها ی مختلف و با همتایاننانولوله های مس و کربنی آنها در گره های فناوری مختلف مقایسه می شود. همچنین، برخی از نتایج عددیثابت می کنند که اتصالات نانو نوارهای گرافنی می توانند عملکرد بهتری نسبت به سیم های مس به ویژهدر سطح متوسط ارائه دهند. حتی با وجود حداکثر تاثیرا ت متقاطع در نظر گرفته شده ، مزیت اتصالاتنانو نوارهای گرافن بر روی سیم های مس هنوز هم قابل نگهداری است.

کلیدواژه ها:

نانو نوار های گرافن ، نانولوله های کربنی ، مدل تک هادی معادل ، تاخیر زمانی ، نویز تداخل