استفاده از روش جذب تشدیدی برای اندازه گیری چگالی اتم های مس در لایه نشانی به روش کندوپاش پلاسمایی

در این مقاله چگالی اتم های مس که به عنوان هدف انتخاب شده است با روش طیف نگاری جذبی تشدیدی برای فشارهای مختلف گاز کاری و توان های مختلف منبع تغذیه سیستم پلاسما اندازه گیری شده است. به عنوان منبع نور برای طیف نگاری جذبی تشدیدی از یک لامپ کاتد توخالی مس (Cu hollow cathode lamp) استفاده شده است. ضمنا با اضافه کردن درصد مناسبی از نیتروژن به گاز کاری آرگون با استفاده از طیف دورانی مولکول نیتروژن و با بهره گیری از یک برنامه کامپیوتری مناسب دمای گاز به دست آمده است.

کلیدواژه ها:

اسپکتروسکوپی جذبی تشدیدی ، کند و پاش پلاسمایی