Design and analysis of a novel MEMS capacitive tire pressure sensor with high sensitivity and linearity
محل انتشار: فصلنامه ادوات مخابراتی، دوره: 5، شماره: 2
سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 57
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_TDMA-5-2_006
تاریخ نمایه سازی: 28 مرداد 1402
چکیده مقاله:
This paper is focused on a novel design of stepped diaphragm for MEMS capacitive pressure sensor used in tire pressure monitoring system. The structure of sensor diaphragm plays a key role for determining the sensitivity of the sensor and the non-linearity of the output. First the structures of two capacitive pressure sensors with clamped square flat diaphragms, with different thicknesses are investigated and their sensitivity and non-linearity are compared together. Finally for increasing the sensitivity and linearity, a new capacitive pressure sensor with a stepped diaphragm is introduced. A numerical solution for determination of the accurate sensitivity of the sensor is presented. The results show that the sensitivity of the sensor is increased from ۰.۰۶۳ fF/KPa with flat diaphragm to ۰.۱۰۷ fF/KPa with stepped diaphragm and also the non-linearity is decreased from ۲.۳۷% to ۱.۸۵۷%. In this design, the sensor sensitivity and output linearity are increased simultaneously.
کلیدواژه ها:
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :