متراکم سازی لایه نازک TEOS حاصل از سل - ژل بر روی آلومینیوم به کمک پلاسما

هدف پژوهش حا ضر امکان سنجی جایگزینی متراکم سازی در دمای بالا با متراکم سازی از طریق پلا سما در فرایند پو شش دهی سل-ژل می با شد. پیش ماده TEOS به محیط ا سیدی ا ضافه شده و هیدرولیز صورت میگیرد. پس از هیدرولیز با گذ شت زمان محلول فوق به صورت سل و با گذشت زمان بیشتر به ژل تبدیل خواهد شد. لایهای از ژل بوجود آمده با استفاده از روش پو شش دهی غوطه وری بر روی فلز آلومینیوم ن شانده می شود. سپس این لایه در معرض پلا سمای تابناک قرار داده شده تا عمل متراکم سازی انجام گیرد. برای مطالعه مورفولوژی سطح از تحلیل SEM ا ستفاده شده ا ست. تاثیر پارامترهای مختلف پلا سما از جمله فشار و مدت زمان قرار گیری نمونه در معرض پلاسما بر روی متراکم سازی لایه مطالعه می شود.

کلیدواژه ها:

سل - ژل ، تخلیه سد الکتریکی ، تترااتوکسی سیلان ، آلومینیوم