آماده سازی نمونه ها به منظور تصویربرداری با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی(SEM)

میکروسکوپ الکترونی روبشی یکی از بهترین روشهای آنالیزی است که در حوزه های مختلف کاربردهای فراوانی دارد. این میکروسکوپ، امکان بررسی سطح و ریزساختار داخلی را در ابعاد میکرونی و نانومتری فراهم آورده است. روشهای آنالیز شناسایی مواد از نظر تحقیق و توسعه و همچنین از نظر کنترل کیفیت، مورد توجه هستند. برای دستیابی به این منظور نیاز به تجهیزات و دستگاه هایی است که بتوان صحت داده های بدست آمده را تایید کرد که یکی از این تجهیزات میکروسکوپ الکترونی روبشی۳۰ است که تصاویری تا بزرگنهایی یک میلیون برابر را امکانپذیر کرده است. آماده سازی صحیح نمونه ها برای به دست آوردن تصاویر با کیفیت لازم بستگی به جنس، سختی، اندازه و سطح نمونه و بزرگنمایی مورد نیاز متفاوت است. بعد از آمادهسازی نمونه با توجه به ماهیت و اطلاعات مورد نیاز نوع پوشش و ولتاژ مورد نیاز هم متفاوت است.در مقاله حاضر تلاش شده است نحوه آماده سازی نمونه های مختلف مورد ارزیابی در دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی، برای انتخاب روش مناسب رسیدن به تصویر مطلوب به پژهشگران ارائه شود.

کلیدواژه ها:

میکروسکوپ الکترونی روبشی ، آماده سازی نمونه ،