رشد نانوتیوبهای کربنی بر روی زیر لایه سیلیکان و کوارتز با روش رسوب دهی بخار شیمیایی پلاسمایی PECVD) جهت کاربرد در میکرو الکترونیک
محل انتشار: یازدهمین کنفرانس مهندسی برق
سال انتشار: 1382
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 819
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE11_138
تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1391
چکیده مقاله:
نانو تیوبهای کربنی با استفاده از روشCCVD و PECVDرشد داده میشوند و اثر دما و مدت زمان آزمایش و نوع زیر لایه بر روی فرآیند رشد مورد بررسی قرار می گیرد. نانوتیوبها برای رشد نیاز به نانوذرات کاتالیست به عنوان مراکز هسته بندی با قطر در حد نانومتر دارند که این نانو ذرات با استفاده از عملیات گرمائی و زدایش بر روی لایه نازک کاتالیست بدست می آیند نانو تیوبها بصورت نامنظم بر روی این جزایر نانو متری رشد می کنند و قطر این جزیره ها تعیین کننده قطر نانو تیوب می باشد. در این مقاله نشان می دهیم که قطر جزایر نانومتری به ضخامت اولیه کاتالیست بستگی دارد و زمان انباشت طول آنها را کنترل می کند
کلیدواژه ها:
کربن . نانوتیوب کربن. بخار شیمیائی پلاسمائی
نویسندگان
بهرام گنجی پور
گروه فیزیک دانشگاه تهران
حسین حسام زاده
گروه مهندسی شیمی دانشگاه تهران
ابراهیم یوسف نژاد
گروه مهندسی برق و کامپیوتردانشگاه تهران
شمس الدین مهاجرزاده
گروه مهندسی برق و کامپیوتردانشگاه تهران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :