توزیع زاویه ای شار و انرژی یونها در دستگاه پلاسمای کانونی با گاز آرگون

در این پژوهش شار و انرژی باریکه های یونی در یک دستگاه پلاسمای کانونی نوع مدر (۵KJ)، مورد بررسی قرار گرفته است. آزمایش ها با گاز آرگون و در فشاربهینه ۰/۳mbar و ولتاژ تخلیه ۱۵kV انجام شده است. سیگنال های یونی توسط شش فنجان فارادی مشابه که در زوایای ۰، ۱۵، ۳۰، ۴۵، ۶۰ و ۷۵ درجه نسبت بهمحور آند و در فاصله شعاعی ۷cm از سر آند قرار گرفته اند، جمع آوری شده اند. به منظور بررسی شار و انرژی یون های هدف که در فرآیندهای لایه نشانی و کاشتیون مورد استفاده قرار میگیرند، قرص مسی به عنوان هدف بر روی سر آند پیچ شده است. سیگنال های یونی سه قله عمده را نشان میدهند که به ترتیب مربوط به پرتوایکس، یونهای گاز آرگون و یونهای هدف مس میباشند. همچنین نمودارهای شار یونی بر حسب انرژی یونها برای یونهای گاز آرگون و هدف مس به دست آمده اند.