بررسی تاثیر ضخامت بر خواص لایه های نازک تیتانیم ایجاد شده توسط فرآیند پراکنش مگنترونی DC

سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 132

فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_MAIA-5-3_008

تاریخ نمایه سازی: 8 اسفند 1400

نویسندگان

علی امیرعبداللهیان

دانش آموخته کارشناسی ارشد خوردگی و حفاظت مواد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد علوم و تحقیقات، تهران

عبداله افشار

استاد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی شریف، تهران