شبیه سازی شتاب سنج میکروالکترومکانیک خازنی و بهبود حساسیت آن

در این مقاله به موضوع بهبود حساسیت مکانیکی در یک شتاب سنج خازنی شانه ای تولید شده به روش میکروماشینکاری پرداخته شده است.حساسیت واستحکام مکانیکی در یک شتاب سنج رابطه معکوس دارند که طراح باید انتخاب مناسبی بین این دوانجام دهد. حساسیت رامی توان به طور خلاصه وابسته به جرم قسمت متحرک شتاب سنج(جرم محک) وسختی فنری تکیه گاه انتهایی دانست.هرچه جرم محک بیشتر باشد حساسیت بیشتر می شود وهرچه سختی فنری تکیه گاه انتهایی کمتر باشد حساسیت بیشتر می شود.در این بررسی ها سایر پارامتر های شتاب سنج مثل حداکثر شتاب قابل تحمل وفرکانس کاری نیز باید در نظر گرفته شود.یکی ازپارامترهای دیگر قابلیت خطی بودن است یعنی تا چه شرایطی پاسخ شتاب سنج به تحریک ورودی همچنان خطی است که برای این منظور خاصیت خطی بودن به درصد بیان می شود. براساس کاربرد می توان شتاب سنج خازنی مناسبی راطراحی کرد ولی بیشترین تاثیردررشد شتاب سنج خازنی به کارگیری آنها درایربگ خودروها وناوبری بوده است. درطرح پیشنهادی برای بهبود حساسیت، این دوکاربرد در نظرگرفته شده است.کاهش سختی تیرانتهایی مبناقرارگرفته وباتغییر دیگرپارامترها،محدوده مناسب شتاب قابل تحمل موردنیازنیزحاصل شده است.

کلیدواژه ها:

ممز ، میکروماشینکاری ، شتاب سنج خازنی ، حساسیت