بررسی تاثیر شکل سوراخ های جرم آزمون ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده‌ای بر فرکانسی تطبیق مدهای تحریک و حسگری

در طراحی ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده­ایBAW عموما لازم است که فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بیشینه انتخاب گردند. چنین انتخابی فاکتورکیفیت ژیروسکوپ را بهبود می­بخشد. دراین مقاله تاثیر شکل سوراخ­هایی را که در مرحله رها­سازی جرم آزمون ژیروسکوپBAW ایجاد می­شوند بر فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بررسی می­کنیم. ژیروسکوپ از نوع حلقه بسته فرض شده است که بر بستر SOI ساخته می شود. بویژه دو وضعیت برای سوراخ های مخروطی شکل مورد مطالعه قرار گرفته است. اگر یال هر سوراخ با بستر، زاویه داخلی منفرجه بسازد، اختلاف فرکانس بین مدی کمتر و اگر زاویه  داخلی حاده بسازد اختلاف فرکانس بین مدی بیشتر می­شود.

کلیدواژه ها:

Frequency matching ، Proof mass ، BAW gyroscope ، Perforating. ، تطبیق فرکانس ، جرم آزمون ، ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده ای BAW ، سوراخکاری