طراحی و ساخت میکرومنشور با استفاده از توری با فرکانسفضایی متغیر
محل انتشار: دومین همایش ملی مهندسی اپتیک و لیزر ایران
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 826
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCOLE02_159
تاریخ نمایه سازی: 24 اسفند 1389
چکیده مقاله:
برای ساخت قطعات میکرواپتیکدو تکنیکلیتوگرافی پیمایشی و ماسکلیتوگرافی وجود دارد. در این مقاله روشجدیدی درحوزه ی ماسکلیتوگرافی برای ساخت قطعات میکرواپتیکگوه مانند ارائه شده است. در این روششدت نور فرودی به روی فوتورزیست با استفاده از توری پراشی دامنهای با فرکانسفضایی متغییر کنترل میشود. انواع روشهای ساخت ، نحوهی طراحی ماسکپلیتهای کرومی ، تست اپتیکی الگوها در مقیاس بزرگتر قبل از انتقال به روی ماسکپلیت و مراحل ساخت قطعه موردنظر با استفاده از تکنیک ماسکلیتوگرافی در این مقاله شرح داده شده اند
کلیدواژه ها:
نویسندگان
علیرضا همت
گروه فیزیک، دانشگاه ارومیه، ارومیه، ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :