بیناب نمایی شعلهی پلاسمای سرد فشار اتمسفری

در این مقاله، به تولید و بررسی بیناب شعلهی سرد پلاسمای آرگون و آرگون/ نیتروژن در فشار اتمسفری با استفاده از روش تخلیه سد دی الکتریکپرداختیم. در این کار از منبع ولتاژ بالای سینوسی در فرکانس18/6kHz و ولتاژ k V15استفاده کردیم. جهت شناسایی پلاسما، به بیناب سنجی گسیل نوری پرداختیم. اثر لایهی مسمشاهده شده روی دیالکتریکشیشهای نشان از پراکنشو خوردگی مسمیباشد که توسط خطوط طیفی Cu I در طیف قابل شناسایی است. علاوه بر تشخیص Cu I ترکیب NOx نیز توسط این آزمایشآشکار شد که در ناحیه MUV تابشدارد. همچنین وجود خطوط طیفی اکسیژن و نیتروژن اتمی و رادیکال های آزاد مانند OH قدرت پلاسما در تبدیل مولکول ها به اتم هارا نشان میدهد که نقشموثری در پردازشسطوح دارند

کلیدواژه ها:

بیناب نمایی پلاسما ، شعلهی پلاسما ، پلاسمای سرد فشار اتمسفری