مطالعه نانو ساختار لایه نازک کروم انباشت شده توسط روش کندو پاش مغناطیسی

دراین مقاله مورفولوژی لایه های نازک کروم تحت شرایط دمایی مختلف مورد بررسی قرارگرفته است لایه نازک کروم به ضخامت های 90 نانومتر به روش کندوپاش مغناطیسی دردماهای مختلف 50، 100، 200 و 300 درجه سانتی گراد برروی زیرلایه شیشه ای انباشت شده است لایه های کروم به دست آمده به کمک میکروسکوپ روبشی انالیز شده اند در پایان نشان داده شده است که مطابق انتظار با افزایش دما ویژگیهای کیفی لایه مانند اندازه دانه بندی لایه بیشتر شده است.

کلیدواژه ها:

نانوساختار کروم ، دما ، کندوپاش ، میکروسکوپ روبشی