تأثیر آهنگ انباشت بر ویژگی های ساختاری و نوری لایه های نازک اکسید ایندیم قلع

در این پژوهش لایههای نازک اکسید ایندیم قلعITO)به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر روی بسترههای شیشهای، با ضخامتnm100 تهیه شدند. فرایند انباشت با آهنگهای مختلف در دماهای25و280 درجه سانتی گراد تکرار شد. تکنیکهای؛ پراش سنجی پرتوX-بیناب سنجی نوری و گمانه چهار نقطهای برای شناسابی لایهها استفاده شدند. مشاهده شد لایههای انباشته شده در دمای اتاق ساختاری بی شکل با مقاومت الکتریکی زیاد دارند. ولی در دمای280 درجه ساختاری بلوری، که با کاهش آهنگ انباشت رسانندگی آنها افزایش مییابد،دارند. شفافیت لایههای انباشته شده، در دمای اتاق کمتر از 40 %، و در دمای 280 درجه حدود 82% است.

کلیدواژه ها:

اکسید ایندیم قلع ، آهنگ انباشت ، دمای بستره ، لایه نازک