طیف سنجی تابشی از پلاسمای کندوپاش مغناطیسی تیتانیم نیترید

دراین مقاله پیش رو پلاسما تخلیه نورانی کندوپاش مغناطیسی در لایه نشانی تیتانیم نیترید با استفاده از روش های طیف های سنجی مورد مطالعه قرار می گیرد ازمایش در یک محفظه ی گاز شامل ارگون و نیتروژن برای لایه نشانی تیتانیم نیترید انجام می گیرد طیف سنجی تابشی همزمان برای مشاهده ی لایه نشانی تیتانیم نیترید مورد استفاده قرا رمی گیرد بررسی نتایج نشان میدهد که با گذر زمان شدت پیکهای تیتانیم و اتمهای ارگون برانگیخته بطور قابل ملاحظه های افزایش می یابد که ناشی از حضور الکترون های ثانویه گسیل شده از کاتد می باشد با گذر زمان شدت پیکهای یونهای ارگون تغییر چندانی نداشته که از چگال شدن پلاسما و کاهش انرژی ذرات ناشی می شود.

کلیدواژه ها:

طیف سنجی تابشی ، تخلیه نورانی ، کندوپاش مغناطیسی ، تیتانیم نیترید