مقایسه نفوذ فلورین در سطح شیشه در فرایند شکست مولکولهای گاز SF6 در مجاورت هدف شیشه ای توسط لیزر اگزایمر از فشارهای مانومتری تا بارومتری
سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,090
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP17_192
تاریخ نمایه سازی: 19 آبان 1389
چکیده مقاله:
چنانچه تپ های متعدد لیزر اگزایمر ArF پس از کانونی شدن از میان محیط گازی SF6 عبور کرده و برسطح سیلیکون فرود ایند شاهد شکست مولکولهای SF6 هستیم که به علت متفاوت بودن انرژی فوتونهای تشکیل دهنده پرتولیزر با اختلاف ترازهای انرژی مولکولهای SF6 انتظار می رود این شکست مولکولی براثر برخورد ذرات کنده شده از سطح سیلیکون توسط لیزر با مولکولهای گاز روی داده باشد در ادامه این فرایند یونهای فلورین دار در سطح سیلیکون نفوذ کرده و با سطح واکنش شیمیایی می نمایند. دراین مقاله میزان نفوذ این یونها در سطح سیلیکون د رفشارهای چند صد میلی بار و کمتر از یک میلی بار مقایسه شده و نتایج موردبررسی قرارگرفته اند.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حمیدرضا دهقانپور
گروه فیزیک دانشگاه تفرش
پرویز پروین
دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :