رشد و تعیین ثابتهای اپتیکی لایه های نازک Cu3N با الایش Ti نهشتی با کندوپاش مگنترونی
سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 981
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP17_070
تاریخ نمایه سازی: 19 آبان 1389
چکیده مقاله:
لایه های نازک Cu3N با الایش Ti به روش کندوپاش مگنترونی DC با استفاده یک هدف الیاژی دوتایی Ti13Cu87 درمحیط نیتروژنی بر روی کوارتز در دماهای زیرلایه ای 100، 150 ، 200 درجه سانتی گراد تهیه شدند. بااستفاده از طیف عبور اپتیکی UV- Vis- NIR به محاسبه ضریب شکست n ضریب خاموشی k و ضخامت d لایه ها پرداخته شد از روی طیف جذبی لایه ها در مورد فرایند گذارهای نیمرسانایی و مقدارگاف باندی بحث شده است نتایج نشان میدهد که ضریب شکست لایه ها بین 5/5 و 2/5 دربازه طول موج 1100-300nm از رابطه کوشی پیروی می کند و مقادیر گاف باندی مستقیم دربازه 3/23و2/57eV هستند.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
علی رحمتی
گروه فیزیک دانشکده علوم پایه دانشگاه ولی عصر رفسنجان
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :