تاثیر حضور پلاسما برخواص لایه اکسید الومینیوم ایجاد شده به روش تبخیر واکنشی فعال شده ARE

دراین تحقیق ابتدا الومینیوم در شرایط خلا بالا TORR-5 10*4 به روش تبخیری برروی نمونه ها با دماهای مختلف زیرلایه 600 و 700 و 800 درجه سانتی گراد رسوب داده شد و سپس گاز اکسیژن برای زمانهای مختلف 30 و 60 دقیقه وارد محفظه خلا گردید برای بهبود فرایند با ایجاد تخلیه الکتریکی از محیط پلاسما استفاده شد این مقاله به نتایج بدست امده از مطالعه تاثیر حضور محیط پلاسما در دماهای زیرلایه و زمانهای اکسیژن دهی مختلف برخواص لایه های نشانده شده برروی زیرلایه فولاد زنگ نزن AISI304 می پردازد پوششهای ایجاد شده توسط ازمایش های ریزسختی سنجی GDS,SEM,XRD مورد بررسی قرارگرفتند نتایج به دست امده نشان دادند که سختی نمونه هایی که در حضور پلاسما تهیه شده اند به دلیل یکنواخت تر شدن و متراکم تر شدن لایه، به مراتب بالاتر از سختی نمونه هایی که بدون حضور پلاسما ایجاد شده اند می باشد همچنین حضور پلاسما منجر به بالارفتن دانسیته جاهای خالی شده و در نهایت باعث میگردد که اکسیژن تا عمق بیشتری درون لایه نفوذ پیدا کند.

کلیدواژه ها:

تبخیر واکنشی فعال شده ، اکسید الومینیوم ، پوشش الومینا