تاثیر زمان اکسیژن دهی بر خواص لایه اکسید آلومینیوم ایجاد شده به روش تبخیر در خلاء

برای دستیابی به لایه اکسید الومینیوم الومینا روشهای متنوعی مانند کندوپاش، انباشت فیزیکی به روش تبخیری و ... وجود دارد که در این میان روش تبخیر در خلاء بدلیل سادگی و قابلیت تغییر متغیرهای فرایند امروزه کاربرد بسیاری پیدا کرده است دراین تحقیق ابتدا الومینیوم در شرایط خلا بالا 4×5 10 به روش تبخیری برروی نمونه هایی با دمای ثابت 800 درجه رسوب داده شد و سپس گاز اکسیژن در زمانهای مختلف 30، 60 و 90 دقیقه وارد محفظه خلا گردید. برای بهبود فرایند با ایجاد تخلیه الکتریکی از محیط پلاسما نیز استفاده شد. این مقاله به نتایج به دست امده از مطالعه تاثیر زمان اکسیژن دهی دردمای زیرلایه ثابت 800 درجه برخواص لایه های نشانده شده برروی فولاد زنگ نزن AISI304 می پردازد. پوشش های ایجاد شده توسط ازمایشهای ریزسختی سنجی GDS,SEM,XRD مورد بررسی قرارگرفتند.

کلیدواژه ها:

تبخیر در خلا ، اکسید الومینیوم ، پوشش الومینا