بررسی تاثیر افزایش درصد مولی ژرمانیم و کاهش ضخامت لایه کلاهک سیلیسیمی بر بهبود مشخصه های الکتریکی Hetero SBMOS در ابعاد نانو

سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,166

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISCEE13_153

تاریخ نمایه سازی: 14 مرداد 1389

چکیده مقاله:

دراین مقاله تاثیر پارامترهای ساختاری بر بهبود مشخصه های الکتریکی ترانزیستور PMOSFET با سورس / درین فلزی و کانال کرنش یافته Hetero SBMOS مورد مطالعه قرار گرفته است افزایش درصد مولی ژرمانیم د رکانال سیلیسیم ژرمانیم موجب افزایش جریان حالت روشن، افزایش هدایت انتقالی گیت، کاهش قدرمطلق ولتاژ آستانه کانال سیلیسیم / سیلیسیم ژرمانیم Vth و افزایش قدر مطلق ولتاژ آستانه کانال پارازیتی اکسید/ سیلیسیم Vts می شود. افزایش درصد مولی ژرمانیم تا میزان 0/3 موجب افزایش نسبت I on/I off می شود. کاهش ضخامت لایه کلاهک سیلیسیمی موجب افزایش I on کاهش جریان نشتی GIDL کاهش I off افزایش 98 درصدی نسبت I on/Ioff و افزایش هدایت انتقالی گیت gm می شود.

نویسندگان

مریم نیری

عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد اسلامی واحد یزد

فاطمه کهنی

دانشگاه آزاد اسلامی لاهیجان

مرتضی فتحی پور

دانشکده فنی دانشگاه تهران

رضا فولادی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهرانجنوب

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • K.Ikeda, Y.Yamashita, A.Endoh, T.Fukano Gate 50nmه K.Hikosava and T.Mimura; Schottky ...
  • Y. C. Yeo, V. Subramanian, J. Kedzierski, P. Xuan, T. ...
  • Y. C. Yeo, V. Subramanian, J. Kedzierski, P. Xuan, T. ...
  • DESSIS 7 from ISE TCAD user manual: Device Simulation Software ...
  • Douglas J. Paul, "Si/SiGe h eterostru ctures: From material and ...
  • M. Jang, Y. Kim, J. Shin, S. Lee, K. Park, ...
  • Technology and Science, Vol. 4, No. 2, Jun. 2004. ...
  • J. Kedzierski, P. Xuan, V. Subramanian, J. Bokor, T. J. ...
  • Body P-MOSFET with silicide Source/Drain, " J. Superlattice and Microstructu ...
  • Christopher W.Leitz, "High Mobility Strained Si/SiGe Hetero structure MOSFETs: Channel ...
  • S. Xiong, _ J. King, J. Bokor, "A Comparison Study ...
  • نمایش کامل مراجع