ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
CIVILICAWe Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

روش های لایه نشانی شیمیایی نیتراید سیلیکن وبررسی مشخصات هریک از آنها

تعداد صفحات: 5 | تعداد نمایش خلاصه: 77 | نظرات: 0
سال انتشار: 1398
کد COI مقاله: DMECONF05_130
زبان مقاله: فارسی
(فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.

برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید.در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.

لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.

برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 5 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : 0 تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله روش های لایه نشانی شیمیایی نیتراید سیلیکن وبررسی مشخصات هریک از آنها

حسین سیف - دانشجوی کارشناسی ارشد،دانشگاه امام حسین (ع)

چکیده مقاله:

در این مقاله سه روش لایه نشانی نیتراید سیلیکن با بخار شیمیایی معرفی گردید که عبارتند از :1- لایه نشانی در فشار کم (LP CVD)؛ 2- لایه نشانی به کمک پلاسمای با چگالی زیاد (HDP CVD)؛ 3- لایه نشانی با افزایش پلاسما (PECVD). با استفاده از تبدیل فوریه ی طیف سنجی مادون قرمز (FTIR)، توده ی یون ثانویه ی طیف سنجی (SIMS)، طیف سنجی رادرفور (RBS) وهیدروژن پراکندگی روبه جلوی طیف سنجی، مشخصه های میزان ناخالصی ومیزان استرس هرکدام از روش ها بررسی گردید ومشاهده شد که روش HDP CVD دارای مزیت هایی نسبت بفه دو روش دیگر است. در روش HDP CVD نیتراید سیلیکن در دمای کمتر از 400c لایه نشانی می شود که این دما نسبت به روش LP CVD کمتر است وهمچنین هیدروژن کمتری (ناخالصی کمتر) نسبت به روش PE CVD دارد. نرخ رطوبت روش HDP CVD و LP CVD به طور قابل توجه ای کمتر از روش PE CVD است. میزان استرس روش HDP CVD مشابه روش PE CVD است ولی به اندازه ی روش LP CVD نیست که آزمایشات انجام شده تایید کننده ی این خصوصیات می باشد.

کلیدواژه ها:

لايه نشاني، نيترايد سيليكن،هيدروژن،استر ،طيف سنجي

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/978509/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
سیف، حسین،1398،روش های لایه نشانی شیمیایی نیتراید سیلیکن وبررسی مشخصات هریک از آنها،پنجمین کنفرانس سراسری دانش و فناوری مهندسی مکانیک و برق ایران،تهران،،،https://civilica.com/doc/978509

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1398، سیف، حسین؛ )
برای بار دوم به بعد: (1398، سیف؛ )
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

علم سنجی و رتبه بندی مقاله

مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
نوع مرکز: دانشگاه دولتی
تعداد مقالات: 4,491
در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

مقالات مرتبط جدید

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

پشتیبانی