تولید پوشش متراکم،ضخیم و نانوساختار تانتالوم با ساختار کریستالی BCC بر روی زیرلایه فولادی به روش کندوپاش مغناطیسی و بررسی خواص و ساختار آن

کندوپاش یکی از روش های لایه نشانی فیزیکی به صورت اتمی است. در لایه نشانی تانتالوم به روش کندوپاش مغناطیسی پارامترهای لایه نشانی همچون توان لایه نشانی، فشار کاری ودمای زیرلایه تاثیر به سزایی در ساختار، خلوص و فاز پوشش دارند.تانتالوم دارای دو فاز آلفا و بتا می باشدکه فاز آلفای آن چقرمه و مقاوم در برابر شوک حرارتی، و فاز بتای آن ترد و با سختی بالا می باشد. نتیجه قابل توجه در این تحقیق، پوشش دهی تانتالوم نانوساختار با ضخامت 17میکرون و با ساختار کریستالیBCC در توان 40وات و دمای200°C بر روی زیرلایه فولادی می باشد.تمیزکاری نهایی زیرلایه به روش اسپاتر اچ در یکنواختی پوشش و ایجاد فاز مناسب موثر است.لازم به ذکر است که پوشش دهی تانتالوم با این ضخامت، برای اولین بار است که به روش کندوپاش مغناطیسی ایجاد می شود. یکنواختی مورفولوژی پوشش و درصد بالای تانتالوم توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی و آنالیز تر کیب شیمیایی مشاهده گردید. همچنین نشان داده شد که سختی لایه در مقایسه با زیرلایه فولادی افزایش قابل توجهی داشت.