شبیه سازی لایه نشانی نانوساختارهای ستونی زاویه دار با روش لایه نشانی مایل

در این تحقیق، یک شبیه سازی سه بعدی لایه نشانی با روش کنار نشست برای طراحی و ساخت نانومیله ها ی نازک ارائه شده است. ابتدا با استفاده از نرم افزارمراحل رشد شبیه سازی شده و سپس با استفاده از دستگاه لایه نشانی بخار نشست ) PVD ( رشد داده میشوند. همچنین مطالعه ریخت شناسی سطح لایه نازک نقره باروش لایه نشانی مایل مورد بررسی قرارگرفته است. تاثیر انحراف زاویه اتمهای ورودی و زاویه لایه نشانی بر قطر نانومیله های نازک مورد مطالعه قرارگرفته وانحراف زاویه 4 درجه برای مطابقت با نتایج تجربی انتخاب شده است. بهترین زاویه برای رشد همگن ترین نانومیله ها 86 درجه شناسایی شده است