اندازه گیری ضخامت و ضریب شکست لایه های نازک با استفاده از توزیع شدت درنقش پراش فرنل از پله

نور همدوس بازتابی از طرفین یک پله ی فازی با دو جنس متفاوت، به دلیل تغییر ناگهانی ضریب شکست و ارتفاع، پراشیده م یشود. در این مقاله با ثبت نقش پراش فرنل برای دوپله ی 100 و 300 نانومتری منیزیم فلوراید روی شیشه و برازش توزیع شدت نظری به توزیع شدت پراش تجربی، ضریب شکست لایه منیزیم فلوراید و ارتفاع پله بطور همزمان اندازه گیری شده است. نتایج به دست آمده با مقادیر گزارش شده همخوانی داشته و نشان می دهند که پراش سنجی فرنل روشی کم هزینه و در عین حال دقیق برای مشخصه یابی لایه های نازک است.