طراحی و شبیه سازی افزاره های امواج صوتی سطحی (SAW) بر بستر LiNbO3 با برش °-YX128

سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 462

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_SAIRAN-9-1_007

تاریخ نمایه سازی: 30 مهر 1398

چکیده مقاله:

در این مقاله، اصول طراحی افزاره های امواج صوتی سطحی (SAW) بر بستر LiNbO3 با برش °-YX128 ارائه می شود. این نوع افزاره ها کاربردهای زیادی در زمینه حسگرهای گازی، دما، رطوبت، فشار، گشتاور و همچنین فیلترهای مخابراتی دارند. در این مقاله، شبیه سازی ها به صورت سه بعدی و به روش المان متناهی انجام می شود. دراین شبیه سازی ها، تاثیر پارامترهای گوناگون ساختار، مانند فاصله و تعداد الکترودها، دامنه و فرکانس سیگنال الکتریکی، میزان تلفات و همچنین ضخامت بستر بر موج SAW منتشر شده، بررسی می شود. نتایج شبیه سازی ها نشان می دهد که فاصله الکترودها با عکس فرکانس و دامنه جابجایی اتم های سطحی با دامنه سیگنال اعمالی متناسب است. براساس نتایج حاصله، تعداد بهینه جفت الکترودها برای ولتاژ الکتریکی 50 ولت و تلفات بستر0.01 dB به ازای یک دوره تناوب، برابر با 34 جفت است. از طرف دیگر، برای اینکه موج ریلی با طول موج متناسب با دوره تناوب الکترودهای طراحی شده انتشار یابد، ضخامت بستر نباید از نصف دوره تناوب کمتر باشد.

نویسندگان

محمدمهدی مهرنگار

تربیت مدرس-کارشناسی ارشد

سارا درباری کوزه کنان

دانشگاه تربیت مدرس

محمد کاظم مروج فرشی

گروه الکترونیک، دانشکده برق و کامپیوتر، دانشگاه تربیت مدرس