تاثیر دمای حرارت دهی گرانول منیزیم فلوراید بر مورفولوژی سطح فیلم نازک منیزیم فلوراید

در این مطالعه تاثیر دمای حرارت دهی کرانول منیزیم فلوراید بر مورفولوژی سطح و عبور فیلم نازک منیزیم فلوراید مورد بررسی قرار گرفته است. بدین منظور ابتدا گرانول منیزیم فلورائید تحت شرایط اتمسفر، در دما و زمان های متفاوت حرارت دهی شد. سپس منیزیم فلوراید حرارت دیده به روش تبخیر حرارتی در دمای 300˚C بر زیرلایه شیشه ای لایه نشانی شد. نتایج پراش اشعه ایکس از گرانول ها یحرارت دیده، نشان می دهد که در ساختار منیزیم فلوراید آثاری از منیزیم اکسید ظاهر شده است. کیفیت و زبری سطح فیلم ها توسط میکروسکوپ نیروی اتمی و مورفولوژی سطح توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی کسیل میدانی بررسی شد. نتایج نشان می دهد که حرارت دهی گرانول منیزیم فلوراید قبل از لایه نشانی تاثیر بسزایی در کیفیت سطح فیلم ها داشته است. آنالیز تصاویر گرفته شده از میکروسکوپ نیروی اتمی نشان می دهد که افزایش دمای عملیات حرارتی گرانول منیزیم فلوراید، باعث کاهش زبری سطح فیلم های تولید شده از این مواد می شود.

کلیدواژه ها:

زبری سطح ، مورفولوژی سطح ، عملیات حرارتی ، گرانول منیزیم فلوراید