طراحی و تحلیل حسگر فشار خازنی لمسی جدید MEMS با دیافراگم موجدار

این مقاله برروی طراحی یک حسگر فشار خازنی لمسی میکروالکترومکانیکی جدید با دیافراگم موجدار مورد استفاده در سیستم کنترل فشار تایر خودرو متمرکز شده است. یکی از پارامترهای مهم در حسگرهای فشار خازنی لمسی، فشار نقطه لمس می باشد که بموجب کم بودن آن، حسگر زودتر به ناحیه کاری وارد می شود. هدف این مقاله افزایش بازه کاری با کاهش فشار نقطه لمس می باشد که این کار با ایجاد موج در لبه های دیافراگم صورت گرفته است. زیرا ساختار دیافراگم در تعیین عملکرد حسگر نقش مهمی دارد. لذا ساختار دو حسگر فشار خازنی لمسی با دیافراگم های مسطح و موجدار مورد بررسی قرار گرفته که نتایج نشان می دهد در حسگر با دیافراگم موجدار، استرس پسماند کاهش و جابجایی افزایش یافته است. بنابراین در طرح پیشنهادی بازه کاری از مقدار psi؛ 90-30 در حسگر با دیافراگم مسطح به psi؛ 130-12 رسیده است و همچنین میزان غیر خطی بودن از 7/448 به 2/1% در حسگر جدید کاهش یافته است.

کلیدواژه ها:

حسگر فشار خازنی لمسی ، دیافراگم موجدار ، سیستم کنترل فشار تایر ، فشار نقطه لمس ، بازه کاری ، استرس پسماند ، غیرخطی