شبیه سازی و مطالعه ی اثر دمای چشمه در لایه نشانی نانو فیلم های طلا به روش تبخیر حرارتی با استفاده از نرم افزار COMSOL Multiphysics

در این مقاله، فرآیند لایه نشانی فیلم های نازک طلا، به کمک روش تبخیر حرارتی شبیه سازی شد. برای این منظور از نرم افزار COMSOL Multiphysics استفاده گردید. مدل سه بعدی در محیط نرم افزار ایجاد شده و هندسه، تحلیل مش ها، شرایط مرزی و روابط مورد نیاز معرفی و مورد مطالعه قرار گرفتند. ضخامت، چگالی، شار گرما، فشار و سایر پارامتر های مرتبط با لایه نشانی مورد بررسی قرار گرفتند. با استفاده از رگرسیون صفحه ای، معادله ی سطوح نانو فیلم های طلا محاسبه و اثر دمای چشمه بر رشد فیلم های نازک طلا بررسی گردید. نتایج نشان داد که بین ضخامت فیلم نازک و دمای چشمه رابطه ی مستقیم وجود دارد. با استفاده از برازش غیر خطی مدلی برای وابستگی ضخامت فیلم نازک به دمای چشمه ارائه گردید. با مقایسه نتایج بدست آمده از شبیه سازی ها در این کار برای ضخامت و انحنای سطح فیلم های نازک طلا با رفتار مورد انتظار از توزیع جرم روی زیرلایه، تطابق بین مقادیر شبیه سازی شده و این رفتار مشاهده گردید.

کلیدواژه ها:

تبخیر حرارتی ، فیلم نازک ، شبیه سازی