نقش کاتالیست و دمای بازپخت بر خواص ساختاری نانو ذرات TiO2

در این پژوهش رشد نانو ذرات TiO2 با ابعاد حدود 49nm به روش تبخیر حرارتی درخلاء بر روی زیر لایه Si مورد بررسی قرار گرفته است. به منظور کنترل رشد نانو ذرات TiO2 ، زیر لایه Si به روش کندوپاش توسط طلا در حدود 10nm به عنوان کاتالیست پوشش داده شده است. سپس نمونه ها در دماهای 300 درجه سانتیگراد و 700 درجه سانتیگراد در فشار اتمسفر بازپخت شده اند که نتایج حاکی از آن است که دمای بازپخت 700درجه سانتیگراد منجر به تشکیل نانو ذرات TiO2 در فاز بلوری آناتاس می شود.