شبیه‌سازی فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه در حین لایهنشانی
- سال انتشار: 1387
- محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1387
- کد COI اختصاصی: IPC87_094
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1208
نویسندگان
دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف
پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه صنعتی شریف
دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف-پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگ
چکیده
در این مقاله فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه حین لایه نشانی شبیه سازی و با نتایج تجربی مقایسه گردیده است. به این منظور مدل آرنولد- عزیز تعمیم داده شد و بر اساس آن شبیه سازی انجام گرفت. بر اساس نتایج شبیه سازی نحوه بستگی پدیده جدانشینی سطحی حین لایه نشانی به پارامترهای مختلف شامل نرخ لایهنشانی، سد پتانسیل، دما و ضخامت لایه نشانده شده بررسی گردید. غلظت عناصر سطح در مقیاس نانومتری به صورت تجربی با طیف نگاری فوتوالکترون اشعه XPS) X)، طیفنگاری الکترون اوژه (AES)و اندازهگیری زاویه تماسی قابل ارزیابی است. مقایسه نتایج بدست آمده شبیه سازی و نتایج تجربی صحت نتایج شبیه سازی را تأیید می نماید.کلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.