Fabrication and Characterization of NiTi-based Shape Memory Thin Films

سال انتشار: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 1,661

فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICME07_069

تاریخ نمایه سازی: 6 آذر 1388

چکیده مقاله:

NiTi-based shape memory thin films have attracted much attention in recent years as intelligent and functional materials in the rapidly growing field of Micro-Electro- Mechanical-Systems (MEMS) and Bio-MEMS. In this paper the fabrication of NiTi and NiTiHf thin films by a DC magnetron sputtering using simultaneous deposition from elemental targets is reported. The characterization of the films were performed using a differential scanning calorimetry (DSC) and X-ray diffractometry (XRD) to explore transformation temperatures and structure as a function of film composition. The results showed that film composition is a critical issue to control transition temperatures. The proposed technique can be considered as a flexible fabrication method to control precise film composition, which leads to manufacturing of shape memory microactuators in a wide range of applications.

نویسندگان

S Sanjabi

Department of Materials Science andEngineering, Sharif University of Technology,P.O.Box: ۱۱۳۶۵-۹۴۶۶, Tehran-Iran.

S.K Sadrnezhaad

Department of Materials Science andEngineering, Sharif University of Technology,P.O.Box: ۱۱۳۶۵-۹۴۶۶, Tehran-Iran.

Z.H Barber

Device Materials Group, Department of MaterialsScience and Metallurgy, University of Cambridge,CB۲ ۳QZ, UK.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • H. Fujita, H. Toshiyoshi, "Micro Actuators and Their Applications" M ...
  • H. Kahn, M.A. Huff, A.H. Heuer, " The NiTi S ...
  • Y. Fu, H. Du, W. Huang, s. Zhang, M. Hu, ...
  • S. Miyazaki, A. Ishida, " Martensitic Transfo rmation and Shape ...
  • R.E. Somekh, Z.H. Barber, " UHV Sputter Deposition with a ...
  • S. Sanjabi, S.K. Sad rnezhaad, K.A. Yates, Z.H. Barber" Growth ...
  • J.A. Thornton " The Microstructure of Sputte r-deposited Coatings" J. ...
  • C.L. Shih, B.K. Lai, H. Kahn, S. M. Philips, A.H. ...
  • S. Sanjabi, Y.Z. Cao, Z.H. Barber, Mult-target Sputter Deposition of ...
  • P.L. Potapov, A.V. Shelyakov, A. A .Gulyaev, E.L. Svistunova, N.M. ...
  • S. Sanjabi, Y.Z. Cao, S.K. Sadrnezhaad, Z.H.Barber: Binary and Ternary ...
  • K. N. Melton, Engineering Aspects of Shape Memory Alloys, (Butterworth- ...
  • D.R. Angst, P.E. Thoma, and M.Y. Kao, " The Effect ...
  • نمایش کامل مراجع