طراحی و شبیه سازی فشارسنج و شتاب سنج مبتنی بر مدارات مجتمع نوری با استفاده از اثر فوتوالاستیسیته لیتیوم نیوبات

در این مقاله فشارسنج و شتابسنج نوری جدیدی مبتنی بر ادوات میکروالکترواپتومکانیک با استفاده از تداخلسنج ماخ- زندر مجتمع در دریچه لیتیوم نیوبات طراحی شده است. در این حسگر با اعمال فشار و شتاب، دریچه دچار کرنش میشود و به علت اثر فوتوالاستیس یته تغییرات ضریب شکست در موجبر نوری واقع در دریچه ایجاد میشود. تغییر ضریب شکست، باعث ت اخیر فاز نور منتشر شده در موجبر گردیده و این تغییر فاز توسط تداخلسنج ماخ- زندر، به تغییرات شدت نور تبدیل میشود، برای محاسبه تنش ایجاد شده در دریچه از نرمافزار 5/41 ANSYS استفاده شد و حساسیت فشارسنج و شتابسنج طراحی شده به ترتیب (rad/Pa)4-01×33/2 و (rad.s2/m)5-01×61/2به دست آمد.

کلیدواژه ها:

اپتیک مجتمع ، دستگاه های میکروالکترواپتومکانیک ، فشارسنج ، فوتوالاستیک