ساخت میکروحسگر نیروسنج پیزومقاومی با دیسک فشرده

در این مقاله با بهره گیری از تکنولوژی میکروساخت یک حسگر نیرو با استفاده از لایه فلزی موجود در لوح فشرده که به جهت ذخیره اطلاعات دیجیتالی میباشد تولید و ارایه شده است. جهت تولید این حسگر از روش لیتوگرافی و برش لیزر دقیق بهره گرفته شده است. به کمک این روش امکان تولید میکروالکترودها با حداقل ابعاد زیر 100 میکرومتر فراهم می شود، به دلیل وجود زیر لایه انعطاف پذیر و نازک با ض خامت 600 میکرومتر از جنس پلی اتیلن ترفتالات که در دیسک های فشرده استفاده می شود امکان جابجایی و ایجاد تنش در آن با وجود نیروهای کوچک امکان پذیر می شود. به این ترتیب صرفا با استفاده از زیر لایه پلیمری و لایه فلزی موجود در دیسک های فشرده یک میکرو حسگر نیرو بدیع در این مقاله ارایه شده است. این حسگر بسیار ارزان و به کمک تکنولوژی قابل دسترس بدون نیاز به اتاق تمیز و تجهیزات گران قیمت لایه نشانی تولید شده است که دارای ضریب تبدیل برابر با Q / N 390 می باشد.

کلیدواژه ها:

نیروسنج ، سیستم میکروالکترومکانیکی ، لوح فشرده