ساخت میکروحسگر نیروسنج پیزومقاومی با دیسک فشرده

سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 373

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISME26_206

تاریخ نمایه سازی: 30 دی 1397

چکیده مقاله:

در این مقاله با بهره گیری از تکنولوژی میکروساخت یک حسگر نیرو با استفاده از لایه فلزی موجود در لوح فشرده که به جهت ذخیره اطلاعات دیجیتالی میباشد تولید و ارایه شده است. جهت تولید این حسگر از روش لیتوگرافی و برش لیزر دقیق بهره گرفته شده است. به کمک این روش امکان تولید میکروالکترودها با حداقل ابعاد زیر 100 میکرومتر فراهم می شود، به دلیل وجود زیر لایه انعطاف پذیر و نازک با ض خامت 600 میکرومتر از جنس پلی اتیلن ترفتالات که در دیسک های فشرده استفاده می شود امکان جابجایی و ایجاد تنش در آن با وجود نیروهای کوچک امکان پذیر می شود. به این ترتیب صرفا با استفاده از زیر لایه پلیمری و لایه فلزی موجود در دیسک های فشرده یک میکرو حسگر نیرو بدیع در این مقاله ارایه شده است. این حسگر بسیار ارزان و به کمک تکنولوژی قابل دسترس بدون نیاز به اتاق تمیز و تجهیزات گران قیمت لایه نشانی تولید شده است که دارای ضریب تبدیل برابر با Q / N 390 می باشد.

نویسندگان

پیام حیدری

تهران رودهن ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد رودهن، دانشکده فنی و مهندسی

سیدمهدی مرعشی

تهران رودهن ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد رودهن، دانشکده فنی و مهندسی