رزوناتور حلقوی پیزوالکتریک و کاربردهای آن در ژیروسکوپ های میکروالکترومکانیکی
سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 709
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IRCIVILC02_029
تاریخ نمایه سازی: 13 مهر 1397
چکیده مقاله:
در تحقیق حاضر، رفتار هارمونیک و فرکانسی رزوناتور حلقوی ژیروسکوپ های MEMS بر پایه مکانیزم تحریک پیزوالکتریک به کمک نرم افزار CoventorWare مورد تحلیل قرار گرفته اند. در همین راستا شبیه سازی بر روی نمونه های نیترید آلومینیونم (AIN) و تیتانات زیرکونات سرب (PZT) با ساختار پروسکایت صورت پذیرفت. در این روش از مدلسازی المان محدود برای بدست آوردن پاسخ فرکانسی و میزان جابجایی دو نمونه استفاده شد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
کامران کشاورزدیوکلایی
دانشجوی دکتری نانوالکترونیک - انستیتو رادیوالکترونیک، الکترونیک و اتوماسیون مسکو (دانشگاه فنی)