تاثیر دمای بازپخت بر ریز ساختار و خواص الکتریکی لایه های نازک ZnO تهیه شده به روش سل - ژل

در این تحقیق خواص ساختاری و الکتریکی لایه های نازک اکسید روی تهیه شده به روش سل-ژل مورد بررسی قرار گرفت. نمونه ها بعد از سه بار لایه نشانی در دماهای مختلف بازپخت شدند. با استفاده از تحلیل پهن شدگی خطوط پراش پرتوهای X ، اندازه بلورکها و چگالی دررفتگی نمونه های ZnO استخراج شدند. ریخت شناسی نمونه ها نیز با استفاده از تصاویر SEM مورد بررسی قرار گرفت. با استفاده از ماسک مخصوص و دستگاه کندوپاش، الکترود از جنسس طلا روی نمونه ها حک و بستگی مقاومت دو سر الکترودها به دمای بازپخت نمونه ها مورد بررسی قرار گرفت.

کلیدواژه ها:

اکسید روی ، ساختار و نواقص شبکه بلوری ، لایه نازک ، دمای بازپخت ، خواص الکتریکی