اثر دمای آنیلینگ بر خواص کربن شبه الماسی تهیه شده به روش باریکه یونی

سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 458

فایل این مقاله در 11 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISSE18_003

تاریخ نمایه سازی: 2 تیر 1397

چکیده مقاله:

در این پژوهش فیلم های کربن شبه الماسی روی زیر لایه سیلیکونی تک بلور با استفاده از دو گاز آرگون و پروپان به روش باریکه یونی خطی اعمال شد. سپس ساختار کریستالی، نوع پیوندها، نسبت هیبریداسیون های SP3 به SP2، توپوگرافی و مورفولوژی سطح پوشش به ترتیب به روش های آزمون طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز، طییف سنجی رامان و میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی مورد بررسی قرار گرفت. در ادامه منحنی های سیکل گرمایشی نمونه ها در دماهای 300 و 500 درجه سانتی گراد با استفاده از کوره استوانه ای انجام و پایداری حرارتی پوشش کربن شبه الماسی بررسی شد. نتایج نشان داد که پوشش های کربن شبه الماسی تا دمای 200 درجه سانتی گراد در مقابله حرارت پایدار می باشند و در دماهای بالاتر از 200 درجه سانتی گراد این فیلم ها شروع به تجزیه شدن کرده و تخریب می شوند.

نویسندگان

سجاد عالی پور

اصفهان شاهین شهر دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد

اکبر اسحاقی

اصفهان شاهین شهر دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد

حسین زابلیان

اصفهان صنایع الکترواپتیک صاایران (صاپا)

محمد جان نثاری

اصفهان صنایع الکترواپتیک صاایران (صاپا)