طراحی و شبیه سازی اشعه کاتدی نوع mems

در این مقاله تولید اشعه کاتدی توسط فیلمان کاتد در ابعاد mems طراحی و شبیه سازی شده است.. در طرح این مقاله جنس کاتد نیکل با لایه اکسید است و می تواند در دمای 750C با جریان 50nA الکترون افکنی نماید. طرای این مقاله طوری است که دما در طول میله کاتد تقریبا ثابت است و میزان الکترون افکنی در قسمتهای مختلف آن یکسان است. همچنین دمای کاتد به فشار خلاء وابستگی ندارد. ولتاژ شبکه گرید که به الکترونها انرژی اولیه می دهد قابل کنترل است و می تواند اشعه را قطع و وصل نماید. توان مصرف کاتد پایین و 69.2mw و اندازه آن 2.5×1.5×0.5mm است. انرژی الکترونها بدون استفاده از target به 429ev می رسد. در طراحی این طرح از تکنولوژی mems استفاده شده و فاصله شبکه آند, ارتفاع, ضخامت, تعداد میله ها و سایر مشخصات آند توسط شبیه سازی comsol برای رسیدن به بالاترین تعداد و انرژی الکترونها صورت گرفته است. در این مقاله تحلیل دمای کاتد, تحلیل تنش کاتد, تحلیل حرکت الکترونها, تحلیل پتانسیل و میدان الکتریکی انجام گرفته است.

کلیدواژه ها:

گیج یونی نوع mems ، سنسور گاز نوع mems ، اشعه کاتدی mems ، سنسور فشارخلاء ، میکروهیتر ، منبع اشعه ایکس mems