یک میکرو تشدیدگر آکوستیکی حجمی لایه نازک برای کاربرد به عنوان حسگر زیستی
سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 472
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
KAUCEE01_251
تاریخ نمایه سازی: 29 مهر 1396
چکیده مقاله:
در این مقاله یک میکروتشدیدگر آکوستیکی حجمی لایه نازک FBAR با استفاده از فناوری MEMS طراحی و شبیه سازی شده است که می تواند در مد برشی با فرکانس تشدید GHz 9526 / 1 ارتعاش نماید. از این میکروتشدیدگر میتوان به عنوان یک بیوسنسور برای تشخیص و اندازه گیری محرک های زیستی بهره جست. ابعاد این بیوحسگر µm 833×683×248/2 می باشد. با قراردادن یک لایه پلیمر PDMS بر روی لایه حساس ساختار با ضخامت 1 تا 3 میکرومتر، به ترتیب شیفت فرکانسی های 30، 40 و 61 مگاهرتز به دست آمده است. همچنین با جایگذاری مواد مختلف به جای لایه PDMS و با ضخامت های مختلف، میزان حساسیت بیوسنسور سنجیده شده است. در نهایت، با توجه به اثر بارگذاری جرم مواد بر روی لایه جاذب ساختار و ایجاد شیفت فرکانس تشدید ساختار FBAR یک مقایسه کلی انجام گرفته است. شبیه سازی های انجام شده در این پژوهش با استفاده از نرم افزار COMSOL Multiphysics صورت پذیرفته است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مریم خوارزمی
دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد بندرعباس، گروه مهندسی برق، بندرعباس، ایران
فرشاد بابازاده
استادیار، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری، دانشکده مهندسی برق، تهران، ایران