تهیه ی لایه های نازک اپتیکی نانومتری و اندازه گیری ضخامت آن ها به روش تداخل سنجی مایکلسون

  • سال انتشار: 1387
  • محل انتشار: پانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ICOPTICP15_105
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 4586
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

زهره خسروی

گروه فیزیک ، دانشکده علوم ، دانشگاه اصفهان ،

حمید رضا فلاح

گروه فیزیک ، دانشکده علوم ، دانشگاه اصفهان ، گروه پژوهشی اپتیک کوانتو

حامد مدایم زاده

گروه فیزیک ، دانشکده علوم ، دانشگاه اصفهان ،

محمد جواد وحید

گروه فیزیک ، دانشکده علوم ، دانشگاه اصفهان ،

چکیده

به تهیه لایه های اپتیکی نانومتری شفاف و غیر شفاف پرداختیم دستگاه مورد استفاده قادر به اندازه گیری ضخامت به صورت بلادرنگ با کریستال کوارتز می باشد که جهت زینه بندی کردن آن به اندازه گیری ضخامت لایه ها به روش اپتیکی نیز پرداخته شد لایه های با ضخامت nm30 به صورت پله بر روی زیر لایه شیشه قرار داده شد پله تشکیل شده در مکان یکی از آیینه های تداخل سنج مایکلسون نصب شد و با ثبت جابجایی نقش فرانژهای ایجاد شده بر روی CCD و اندازه گیری جابجایی فرانژها ضخامت پله تشکیل شده بدست آمد که در توافق خوبی با داده ناشی از بلور می باشد

کلیدواژه ها

تداخل سنجی ، ضخامت سنجی ، لایه نازک ،

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.