مکانیسم عملکردی و ویژگیهای جریان سنج طره ای

جریان سنج طره ای درواقع یک میکروماشین الکتریکی با ساختارطره ای است که حاوی یک حسگرحساس بوده و محدوده ابعادآن ازده ها تا صدها میکرومتر طول و چندده میکرومتر عرض و صدها نانومتر ضخامت می باشد طره ها سطوح باریک و نازک می باشند که ازیک انتها متصل و ازانتهای دیگر آزادند باتغییر شدت جریان عبوری ازروی طره میزان خمش آن تغییر پیدا می کند و میتوان با اندازه گیری زاویه خمش و یا تغییر مقاومت الکتریکی ماده حساس به خمش میزان شدت جریان عبوری را اندازه گرفت دراین مقاله نحوه ساخت این جریان سنج و مکانیسم عملکرد آن بیان شده است همچنین انواع مواد مختلف مورداستفاده درساخت جریان سنجهای طره شامل مواد سرامیکی اکسید فلزی مواد کربنی و پلیمری و همچنین نانوکامپوزیت ها و نیزروشهای پوشش دهی مناسب مواد حساس برروی زیرلایه مورد بررسی قرارگرفته است

کلیدواژه ها:

جریان سنج طره ای ، نانوکامپوزیت ، حسگر ، شدت جریان