طراحی و شبیه سازی سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی سه غشایی

در این مقاله یک سنسور فشار تشدیدی سه غشایی که در مد موجی ارتعاش می کند گزارش می شود. این سنسور از جنس سیلیکون بوده و براساس تکنولوژی MEMS طراحی شده است. مد موجی نسبت به اعمال فشار حساس بوده و براساس فشار اعمالی به آن فرکانس ارتعاش اش جابجا می شود. ابعاد کلی ساختار سنسور سه غشایی 400μm × 20μm × 20μm، ابعاد سه غشاء 200μm × 2μm × 20μm و ابعاد تیر نگهدارنده 20μm×1μm×1μm در نظر گرفته شده است. میزان جابجایی فرکانسی برای سه غشایی بدون تیر نگهدارنده برای مد دهم از 0/5 مگا هرتز کمتر می باشد. در فرکانس تشدید MHz 101 سنسور سه غشایی بدون تیر نگهدارنده، دوغشاء کناری جابجایی برابر 2/8MHz و غشاء وسط 3/4MHz جابجایی فرکانسی تحت اعمال فشار دارد.

کلیدواژه ها:

سنسور فشار ، غشاء ، مد موجی ، میکروالکترومکانیکی