بهینه سازی پاسخ حسگرهای حرارتی فلز-نیمه هادی

سال انتشار: 1383
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,416

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICEE12_213

تاریخ نمایه سازی: 13 مهر 1387

چکیده مقاله:

نتایج مقایسه حساسیت آرایه های ترموآوپلی با ترآیبات متفاوت آرم _ ژرمانیم و آرم_سیلیکن و ژرمانیم وهمچنین تاثیر میزان مقاومت ترموکوپل ها و قسمت گرماده افزاره بر روی زیر لایه های شیشه ای گزارش می شوند. ترموآوپلهای ساخته شده از جنس آرم_سیلیکن و ژرمانیم برروی شیشه ای به ضخامت 125μm ، نسبت به ترموآوپلهای مشابه ساخته شده از جنس آرم نیمه هادی ژرمانیم از حساسیت بیشتری برخوردار بوده و این میزان حساسیت با کاهش مقاومت بازوهای نیمه هادی ترمو کوپلی که در نتیجه آلایش توسط فلز مس صورت می پذیرد،کاهش می یابد. ایجاد غشای نازک در زیر قسمت گرماده افزاره باعث افزایش میزان حساسیت شده است .خواص الکتریکی فیزیکی حسگرهای ساخته شده و نیز لایه های نشانیده شده مورد بررسی قرار گرفته اند.

نویسندگان

علی معافی

آزمایشگاه لایه های نازک - دانشگاه تهران

محمدرضا کلاهدوز

آزمایشگاه لایه های نازک - دانشگاه تهران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Sergio _ Stefano Zampolli, Ivan ...
  • JOURNA L, VOL.3 , NO.4 , AUGUST 2003 ...
  • L.Dori, P.Maccanani, G. C. Cardinali, M. Fiorini, I. Sayago, S. ...
  • Eurosensors XI Conf., Warsaw, Poland, Sept. 21-24, 1997. ...
  • - B. Sadeghi Makki, M.Moradi, A.Moafi, S.Mohajer Zadeh, B. Hekmatshoar, ...
  • Th ermocouples on Plastics .^IEEE SENSORS 2002 JOURNA L . ...
  • - M. Moradi . A- Moafi _ _ .Mohaj erzadeh ...
  • ، +Miniaturized Metal - _ emiconductor Arrays for Fabricating Thermal ...
  • J. S. Suehle, R. E. Cavicchi, M. Gaitan, and S. ...
  • I. Simon, N. Barsan, M. Bauer, and U. Weimar, _ ...
  • Opportunities to improve sensor performance, " Sens. Actuators B, vol. ...
  • D. Kohl, "The role of noble metals in the ...
  • chemistry of solid-state gas sensors, " Sens. Actuators B, vol. ...
  • T.Fukuda and W .Mens , Micro Mechanichal Systems , Principles ...
  • Barsony-I; Adam-M; Kolev-SD; Ducso-C; Vazsonyi-E; Szabo-I; Van-Den-B erg-A "Past, efficient ...
  • نمایش کامل مراجع