استفاده از فتورزیست در روش Lift-Off برای ساخت موجبر نوری بر روی بستر لیتیوم نایوبیت به کمک نفوذ فلز تیتانیوم

در سالیان اخیر تحول سریع در مخابرات نوری پر سرعت عامل مهمی برای توسعه و ساخت افزاره های نوری سریع خصوصا از نوع الکترواپتیکی بوده است . در این مقاله چگونگی انجام فرآیند ساخت موجبر نوری بر روی زیرلایه لیتیوم نایوبیت آورده شده است . در این فرآیند لایه فلزی تیتانیوم به کمک دستگاه تبخیر در خلا نشانی شده و بوسیله کوره ساخته شده به درون زیر لایه نفوذ داده می شود . این فرآیند برای اولین بار در ایران ، توسط گروه مدولاتور نوری مرکزی تحقیقات مخابرات ایران انجام می شود . مقایسه تصاویر لایه الگودهی شده تیتانیوم با کمک دو روش Lift-Off و روش شیمیایی در مقاله نشان از کارایی بهتر روش Lift-Off دارد . مقایسه تصاویر نمونه قبل و بعد از فرآیند نفوذ ، نشان از خراشان شدن سطح زیرلایه دارد . نمایه سطحی نیز رویداد این پدیده را در سطح زیر لایه تایید می نماید . در نهایت تصویر میکروسکوپ الکترونی از نمونه آورده شده است .

کلیدواژه ها:

موجبر نوری ، لیتیوم نایوبیت ، کروه نفوذ ، فتورزیست ، .Lift-Off