تاثیر پارامترهای طراحی بر افزایش حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی

سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 571

فایل این مقاله در 16 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

PENPP01_029

تاریخ نمایه سازی: 19 خرداد 1396

چکیده مقاله:

در این مقاله ، حسگر فشار پیزو مقاومت با تکنولوژی میکروتراشکاری سطحی، طراحی و شبیه سازی شده و تاثیرتغییرات پارامترهای هندسی بر حساسیت سنجش بررسی و طراحی مناسب برای بهبود آن ارایه گردیده است. فرآیندحسگری، مبتنی بر انحراف دیافراگم سیلیکون نیترید می باشد. جهت دستیابی به نتایج دقیق، از روش المان محدود استفاده شده و بر اساس آن حساسیت خروجی سنسور فشار ارزیابی گردیده است. در ابتدا تاثیر شکل هندسی دیافراگمروی خروجی حسگر در فشارهای مختلف بررسی شده است. در ادامه اثر موقعیت مقاومتهای پیزو و ابعاد آنها بر عملکرد سیستم محاسبه گردیده و بهترین شکل و موقعیت قرارگیری مقاومت های پیزو در دیافراگم نتیجه گیری شده است. در پایان نیز پارامترهای یک حسگر فشار پیزومقاومت بهینه شده را بدست آورده ایم . نتایج این شبیه سازی نشان می دهد کهانتخاب صحیح شکل هندسی دیافراگم، ابعاد و موضع پیزو مقاومت ها، قادر به ارتقای حساسیت سنسور و در عین حال کاهشمصرف توان آن می باشد.

نویسندگان

سیدحسین هاشمی نژاد

کارشناس ارشد مهندسی برق گرایش الکترونیک ، مجتمع گاز پارس جنوبی ، عسلویه ، ایران اخذ مدرک کارشناسی ارشد برق الکترونیک از دانشگاه آزاد واحد بوشهر ، شاغل در مجتمع گاز پارس جنوبی

زهیر کردرستمی

دکترای برق گرایش نانوالکترونیک ، دانشکده مهندسی برق ، دانشگاه صنعتی شیراز ، شیراز ، ایران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • B. Folkmer, P. Steiner, W. Lang, Silicon nitride membrane sensors ...
  • C. Smith, "Piezoresistive e_ec in germanium and silicon", Physics review, ...
  • Y. Kanda, Optimum Design Considerations for Silicon Piezoresistive Pressure Sensor", ...
  • E. Lund and T. Finstad, Measuremet of the Temperature Dependency ...
  • S.Maflin Shaby, and A.Vimala Juliet _ " MEMS Pressure Sensor ...
  • MEMS Sensor Using Analytical Models" , 2012 IEEE. ...
  • Chi-Chang Hsieh, Chih-Ching Hung, Yan-Huei Li _ Department of Mechanical ...
  • Avishek Ghosh, Sunipa Roy, C. K. Sarkar _ IC Design ...
  • Ko, H.S. Novel fabrication of a pressure sensor with polymer ...
  • K.Y.Madhavi Department of Physics Maharani's Science College Bangalor India, M.Krishna ...
  • D. Caseiro, S. Santos, C. Ferreira, C. NevesEURO SENSORS 2014, ...
  • M. Aryafar, M. Hamedi, M.M. Ganjeh (Mechanical Engineering Department, University ...
  • Saloni Chaurasia, B.S. Chaurasia , " _ " Design and ...
  • نمایش کامل مراجع